第245章 牛逼的铁人三项(2 / 3)

步骤：对镀膜所需材料进行细微调整，对蒸馏设备和高压电子枪的参数设定进行动态调整，使其满足新的光源属性，对精度进行进一步的优化调整。

目标二：极紫外光光刻机用显微镜镜头理论验证和制造研发。

理论步骤，第一步,光源产生短脉冲激光光束作为种子光，使其多级放大并产生预脉冲和主脉冲。

预脉冲首先击中锡珠，使它变成正确的形状，随后主脉冲将压扁的锡珠转化为等离子体，从而发射出满足条件的EUV光。

EUV光刻步骤：

1）激光脉冲被放大到非常高的功率，输出超过30kW平均脉冲功率的激光。Ｍ.

2）不断滴下的锡珠被激光束击中成为一个发光的等离子体，发射出波长为指定数值的的EUV光。

3）极紫外光聚焦后，通过反射透镜首先传输到光刻掩模上，然后照射到晶圆基片上。

技术难点：

1）放大阶段会不断增加它的功率，但必须确保两个光束在锡珠上有正确的聚焦，同时还要满足其他光学性能。

2）由于每束脉冲激光都由非常微小的、紧凑的光粒子组成，需要紧紧地抛向锡珠为了正确地击中它们的目标，它们必须在正确并精确的瞬间到达；否则，冲击力将无法压平锡珠。

3）激光束以极大的功率稳定传输，同时还要准确无间的和其他部件协作，系统的复杂性极高，研究光源的同时，其他部分也需要同时开启研发。

从这两个目标的大纲规划来看，第一个目标相对容易，有现成的研究成果支撑，只需要不断的调整即可。

最难的是第二个工程，EUV光刻机的技术论证是一个极其庞大的过程，李树的超级数据库里，虽然已经有成熟的整机可供参考，不过以目前现实的技术条件来说，最关键的部分还是难以开始。

可以确定的是，西方发达国家已经从现在开始了对EUV光刻机的研究工作，同时倾注了大量的财力和人力，华夏虽条件不如人家，可也要奋起直追了。ωωw.

马瑶翻了一会儿复杂的技术资料，叹了一口气道：“第一个目标倒是只需要花时间即可，可第二个目标极紫外光光刻机的第一步就难住咱们了，超过30Kw的激光脉冲仪器，其中涉及的材料好复杂，很多目前国际上都还没有。”

“就是要做目前国际上没有的，相关的理论技术我已经完成整理，咱们一步一个脚印的突破即可！”李树鼓励道。