第二百四十二章 光学镜片也突破了！(2 / 4)

“对啊！”罗刚宪笑得十分开心，“林教授，您可真是神了啊！我们用上了你那个数学模型之后，我们这离子抛光机简直就跟自动追踪定位一样，随随便便就能把镜片上那些红色跟蓝色区域给磨平了！”

“现在，我们已经抛光出了两块皮米级的光学镜片，一块表面精度在80pm-RMS，另一块更是50pm-RMS！”

听到这個消息，林晓顿时为之高兴起来，这样一来，他们华国也将拥有世界最顶级的抛光技术了！

这个光刻机中最关键的技术之一，在他们手上正式得到了突破！

林晓笑着道：“干的好！罗院士，咱们再多打磨几块出来，让外国人开开眼！”

“当然！”

罗刚宪回应一声，而后两人也不再多说，挂了电话。

林晓的心情也随之变好了起来。

光学镜片搞定，剩下的就是光源以及双工作台这两个问题了。

双工作台主要还是精度上的问题，他们当前的精密技术并不能保证其始终稳定，不过随着编码器的更新，双工作台也迟早能够实现突破。

至于光源的问题，因为林晓脑海中有着来自阿斯麦尔EUV光刻机的成熟方案，所以对他来说这就更不是问题了，他所需要做的就是，对这个方案进行一下优化，避免在专利上产生冲突，这也是为什么他之前都没有直接照搬脑海中的那些资料，都是因为专利问题，他能通过申请专利避免国外侵犯权益，国外的专利，他们自然也得遵守。

所以经过他的优化后，就能通过规避掉对方的专利保护技术特征，实现绕过专利的作用，甚至从性能上还会比对方的技术更好一些。

“这样一来，似乎距离开始组装光刻机也要不了多久了？”

林晓的心中不由这么一想。

旁边的郑蓉儿见到他思考的样子，不由问道：“林晓哥，你在想什么啊？”

林晓回过神，笑道：“没想什么，走吧。”

而后，他便带着郑蓉儿高高兴兴地离开了学院。

……

川省，蓉城，光电所中。

罗刚宪挂了给林晓传达好消息的电话，随后便笑眯眯地又回到了他们的抛光室。ωωw.Ｂǐqυgétν.℃ǒＭ

“第三块怎么样？”

“已经处理了47%，还需要一天的时间。”

“嗯。”罗刚宪点点头。

一块镜片的离子抛光过程，至少需要